离子注入是利用小型低能离子加速器,将需要注入元素的原子,在加速器的离子源中电离成离子,然后通过离子加速器的高压电场将其加速,使它们形成具有数万乃至数百万电子伏能量的高速离子束流,再经磁分析器提纯hou8,离子束强行打入置于靶室中的模具工件表面,注入工件固体材料的表层,以引起模具表面注入层中微观结构和宏观性能的变化。整个注入系统处于1.33×10-4Pa的真空中,以保证离子束在规定的路线前行时不与其他元素的原子发生碰撞。
离子注入材料表面改性与物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、激光表面改性、离子渗氮和各种渗镀等改性技术标胶有许多特有的优势,理论上所有稳定元素都可注入材料中,能保持工件的原有尺寸精度和表面粗糙度,不影响基体硬度。这些有点对高精密工模具是十分难得的。
① 离子注入在真空状态下进行,注入层很薄,不改变工件的尺寸和表面粗糙度值,能保持精密工具的精度,不需要对零件进行再加工和热处理,特别适用于精密模具、成形刀具等高精度要求的工具。
② 注入层没有突变界面,从而解决了许多涂层技术中存在的结合力问题和线胀系数不匹配问题,特别适用于存在疲劳、对剥离敏感的模具。
③ 注入过程不需要加热,处理温度接近常温,不会引起基体软化而降低性能,从而导致精密零件变形。而加热是形成高温渗层的必要条件,有使零件变形的趋向。
④ 离子注入可以降低摩擦因数,减小模具的黏着磨损,使其表面光滑,显著提高模具的寿命(一般可提高1.4倍)。
⑤ 使用过的模具可以在次进行离子注入,延长模具使用寿命。
⑥ 应用范围广泛,理论上离子种类可以任意选择,注入元素不必符合热力学平衡,可以达到很高的注入浓度;基体材料几乎不受限制。可以根据工具的不同失效机理方便地选择不同的注入元素。
⑦ 采用电信号操作,可以精确控制注入的能量和剂量,易于获得注入元素所需的深度分布,即注入的深度和浓度。工艺可控性好,重复性好,便于实现自动化控制。
⑧ 成品率高,可以达到100%;耗材少,耗能少,无污染,是典型的环保技术。
当然离子注入也有不足之处,表现在:工件尺寸较小;投资成本高;注入处理深度浅;只能处理直射到的部位;某些元素的离子源需专门制备;要求在真空中处理。