脉冲电源选择窄脉宽微粉加工电源，一般脉冲宽度1~10μs,峰值电流1~10A可调，中档以上电火花机床的脉冲电源即可满足要求。

有平动头或数控摇动工作台及抬刀功能的设备，可使混粉加工效果更好。

混粉装置是将超细金属粉末（硅粉、铝中入煤油后，利用工作液泵和液流的搅拌作用，使粉末在煤油工作液中充分混合（尽量不使其沉淀）后，浇注入电极和工件间的放电间隙，然后再流入工作液箱再将搅拌、循环。混粉电火花加工设备必须有专用混粉工作液搅拌、循环装置和系统。